低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
低温等离子体工作原理：
等离子体中包含大量的电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态，当废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量•OH、•HO2、•O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，然后生成无害产物。
低温等离子体产品性能特点：
1、科技含量高，引进国外先进技术。
2、模块设计、灵活简便，安装简单，占地面积小。
3 、放电强度大，产生高能等离子体密度大。
4 、联合等离子体中光子的协同作用较传统的电晕放电和DDBD，更加高效的降解废气。
5、空气阻力小，减少压降损失。耗电量小。
6、适用于多数的恶臭废气和有机废气，降解率高。
7、电极不与处理废气直接接触，使用寿命长。
8、不宜用于高温高湿度的气体，大风量情况下不建议使用。
9、“低温等离子体”设备组合性强：可以窜并联混合应用，在处理高浓度异味气体时能发挥明显优势。
低温等离子体广泛用于：治理油烟粉尘领域，如大型火力发电厂、卷烟厂、纺织厂、印刷厂、造纸厂、钢铁厂、水泥厂等。治理废气、异味气体领域，如污水、垃圾处理厂、泵站、石化厂、化工厂、制药厂、卷烟厂、香精厂、屠宰场等。
