一、湿电子化学品废气简述
湿电子化学品，又称超净高纯化学品，是指主体成分纯度大于99.99%，杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂的总称，主要包括刻蚀液、剥离液、清洗液、显影液。
近年来，湿电子化学品成为了超大规模集成电路（IC）制造业深入、快速发展中越来越不可缺少的、支撑其新技术发展的重要辅助材料。因此，它也成为在电子化学品中需求量大幅度增加、产量与技术高速发展的一类产品。湿电子化学品目前广泛应用在平板显示、LED、太阳能电池、光磁记录存储体产品等领域中，并且在这些新型应用领域中发展前景广阔。但是湿电子化学品在生产过程产生氯化氢、氮氧化物、醋酸、VOCs等废气污染物，这些废气污染物，如果未经过收集净化处理，直接排放进入大气空气中，不仅造成周边大气环境空气污染，还会对周边居民身体健康有伤害，因此，对湿电子化学品废气进行净化处理后，达到洁净空气排放要求。
二、湿电子化学品废气处理工艺
湿电子化学品在生产过程产生废气主要为氯化氢、氮氧化物、醋酸、VOCs等废气污染物，对于氯化氢、氮氧化物、醋酸等酸性废气处理采用间碱洗法即可处理，然而对于VOCs有机废气处理方法有很多种，常见主要有活性炭吸附、催化燃烧，下面详细介绍湿电子化学品废气处理工艺。
2.1酸性废气处理方法
集气罩收集酸性废气通过管道输送进入碱洗塔，经废气洗涤塔酸碱中和处理后，达到国家排放标准后排放。
2.2 有机废气处理工艺
（1）活性炭吸附
活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固体吸附剂（活性碳、硅胶、分子筛等）来处理有机废气，这样就能够通过化学键力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且将其吸附在吸附剂的表面，从而达到净化有机废气的目的。吸附法目前主要应用于大风量、低浓度（≤800mg/m3）、无颗粒物、无粘性物、常温的低浓度有机废气净化处理。
活性炭净化率高（活性炭吸附可达到90%以上），实用遍及，操纵简单，投资低。在吸附饱和以后需要更换新的活性炭，更换活性炭需要费用，替换下来的饱和以后的活性炭也是需要找专业人员进行危废处理，运行费用高。
（2）催化燃烧
催化燃烧法则是一种有效且环保的有机废气处理技术，尤其适用于处理中低浓度的VOCs废气。该技术利用催化剂降低有机废气中可燃物质的活化能，使其在较低的温度下即可发生无焰燃烧，从而将VOCs转化为无害的二氧化碳和水蒸气。催化燃烧过程不仅净化效率高，一般可达95%以上，而且能够大幅减少能源消耗和二次污染物的生成。
在湿电子化学品废气处理中，催化燃烧系统通常包括预热装置、催化反应器和热回收装置三部分。废气首先经过预热装置升温至适宜催化反应的温度范围，然后进入装有特定催化剂的反应器内，在催化剂的作用下发生氧化反应，最终生成无害产物并释放热量。释放的热量通过热回收装置加以回收利用，进一步提高了系统的能效。
相较于活性炭吸附法，催化燃烧法在处理效率、能源利用以及长期运行成本上更具优势，尤其适合处理风量适中、VOCs浓度相对稳定的废气场景。然而，其初期投资较高，且催化剂的选择、维护及更换也是技术应用中需考虑的关键因素。因此，在选择湿电子化学品废气处理工艺时，需根据废气特性、处理规模及经济成本等因素综合评估，以制定出既有效又经济的废气净化方案。
来源：环保
