无机废气成份
无机废气按其性质分为有机废气、无机废气及含尘废气，有机废气如甲笨、二甲笨等,无机废气如HCl、H2S、NOX等，含尘废气如各种金属冶炼过程中的氧化粉尘、矿石加工过程中的石粉尘等等。无机废气主要包括硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、卤素及其化合物等。
无机废气处理技术
无机废气如HCl的处理一般用液体喷淋吸收处理。H2S亦用光解法处理。粉尘及其他气体处理技术粉尘一般以旋风/布袋/静电除尘为主，根据需要选择不同的治理工艺。
臭气和VOCs
异味气体种类繁多，通常包括含硫、含氮、含氧及烃类等化合物，分为有机和无机两大类，具体指：
（1）含硫化合物，如硫化氢、二硫化碳、硫醇、硫醚、甲基硫；
（2）含氮化合物，如氨、三甲胺、酰胺、吲哚等；
烃类：如烷烃、烯烃、芳香烃、卤代烃；
含氧有机化合物：如醇、酚、醛、酮、有机酸等；
苯类：如苯、甲苯、二甲苯、焦化苯等。
常见恶臭气体成分特性：
成份分子式特性
胺CH3NH2（CH3）N气体，易溶于水，可溶于醇、醚、苯等有机溶剂，鱼腥味；
氨NH3气体，易溶于水，可溶于醇、醚、苯等有机溶剂，刺激性味；
甲硫醇CH4S气体，不溶于水，可溶于醇、醚、苯等有机溶剂；
甲硫醚C2H6S液体，不溶于水，可溶于醇、醚、苯等有机溶剂；
硫化氢H2S气体，易溶于水，可溶于醇、醚、苯等有机溶剂，臭鸡蛋味；
二硫化碳CS2气体，不溶于水，可溶于醇、醚、苯等有机溶剂，刺激性味；
针对臭味异味的处理，针对不同的废气成分要有针对性的选择，比如易溶于水的应该使用水喷淋处理方案，对于含有复杂成分的废气比如硫化氢和氨气及甲硫醚的废气就要使用水喷淋加光氧催化的综合废气处理方案，通过水喷淋塔先处理一些溶于水的废气并除去粉尘和一些固体颗粒物、喷漆过程的漆雾、冶炼过程中的高温烟雾、塑料造粒过程的黑雾等，然后光氧设备或等离子设备能处理掉其它芳香烃类和硫化氢等有机或无机废气。
目前由于工业废气的成分越来越复杂，单一的废气处理技术方法很难达到理想的处理效果。综合两种或两种以上处理技术的设备因为占地空间小，处理效率高越来越受到相关专业人士关注。
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